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該系統由納秒激光器、皮秒激光器、激光雕刻控制模塊、激光耦合和聚焦模塊、光束運動控制模塊和樣品三維位移模塊組成。該系統使用多路耦合的多臺脈沖激光器來實現對不同材質的二維材料和人工超表面的精密加工，非常適合異質結構、疊層結構和更復雜的體系的精密加工，是構建二維人工超表面和功能化微納光學結構的理想工具

多模態結構光超分辨智能顯微鏡(Multi-SIM)是一款自主研發、設計和制造的超分辨顯微成像系統